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HVPE 法單晶生長(zhǎng)設(shè)備 —立式

適用領(lǐng)域:?jiǎn)尉L(zhǎng)、外延生長(zhǎng) Relevant Industries: Single Crystal Growth, Epitaxial Growth 適用材料: ?GaN(單晶)、AIN(單晶/外延)、Ga2O3(外延) Suitable for Processing: GaN (single crystal),AlN (single crystal / epitaxial)Ga2O3 (epitaxial) 晶圓尺寸:12/ 8/6 英寸 Wafer Size: 12/8/6 inch

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